半导体烘箱外观结构:
外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆,工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理
工作室内百级,采用进口H14耐高温高效过滤器,过滤率0.3μm粒子99.995%以上
隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料,表面温度<45℃
门框密封采用无氟硅橡胶密封条,耐高温,抗老化
隔板可调整高度及增减数量
半导体烘箱风路系统:
采用密封内循环风路,减少氮气消耗
采用倒U型风道结构设计,箱内两侧单向水平送风,风道仓内强压送风
特殊可调导风板设计,保障工作室内送风均匀
大功率三相异步耐高温长轴马达,不锈钢涡轮扇叶(出厂动平衡调整)结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板,风力强劲,送风均匀,平稳,工作噪音<65dB
温控系统:
不锈钢无尘加热器,洁净无尘
PLC+7寸彩色触摸屏,HMI人机交互系统,中文操作界面,全自动程序运行模式,PID智能演算,自动恒温,超温保护,传感器断线保护,断电记忆功能,带氧含量、温度值,工作状态(排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等)监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能,可通过USB导出数据,搭配PC端温度数据处理软件
采用导轨式智能AI温度控制模块,控温精度0.1级,自动恒温,智能PID演算,带30段程序升温,带传感器断线警报,AT自整定,超温控制,断电记忆功能,控温准,稳定性好
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半导体烘箱不锈钢无尘加热器,洁净无尘